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无尘室外壳DGL XY 直线模组平台， 采用雅科贝思无尘室盖板标准DGL模组组成。具有良好的刚性性能，以及良好的定位精度。适用于无尘室环境。
直线电机设计特点：
A. 无铁芯直线电机直驱
B. 高精度以及精准回零
C. 无尘室盖板
直线模组匹配
| 模组 | 轴 | 电机型号 | 有效行程（mm） | 运动质量（Kg） | 总质量（Kg） | 传感器限位（mm） | 硬限位（mm） |
DGL200 | 上轴 | AUM4-S2 | 300 | 3.1 | 29 | 304 | 320 |
| AUM4-S3 | 300 | 3.4 | 29 | 304 | 320 | ||
下轴 | AUM4-S3 | 300 | 24.9 | 103 | 304 | 320 | |
| AUM4-S4 | 300 | 26.1 | 103 | 304 | 320 |
注：花岗岩的质量大约240Kg.
性能参数
| 规格参数 | 单位 | DGCR 300 | DGCRS 300 |
| 1直线度 | μm | ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm | ±3μm/25mm，NTE±10μm/610mm |
| 平面度 | ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm | ±3μm/25mm，NTE±10μm/300mm | |
| 重复精度（1μm分辨率） | ±3μm（40μm光栅栅距 | ±3μm（40μm光栅栅距） | |
| 重复精度（1μm分辨率） | ±1.5μm（20μm光栅栅距 | ±1.5μm（20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（0.1μm分辨率） | ±1μm（20μm光栅栅距） | ±1μm（20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（模拟量） | ±5 counts | ±5 counts | |
| X-Y正交性 | Arc-sec | 10 | 10 |
注：所有的测量数据基于直线模组安装在平面度为5um的花岗岩台面上。
15109114921 黄小姐
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