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设计特点:
A. 直线电机直驱
B. 高精度以及精准回零
C. 高强度机械性能
D. 双边驱动设计
E. 双驱双反馈/双驱单反馈
GHD平台(大理石双驱龙门平台),采用雅科贝思直线电机驱动。具有高精度,高强度机械性能的特点。两种方案选择,双驱单反馈,以及双驱双反馈。双驱双反馈适合横梁跨度较大或者精度要求较高的应用。双驱单反馈适合横梁跨度较小或者精度要求较低的应用。
规格参数 | 型号 | GHD510 | |
驱动类型 | T 或 H | ||
轴 | 横梁轴 | 龙门轴 | |
电机 | ACM1-L50 | ACM3-S1 | |
性能参数800 | 单位 | ||
连续力,线圈@100℃ | N | 160 | 293 |
峰值力 | N | 692.4 | 878 |
电机常数 | N/SqRt(W) | 22.6 | 29.4 |
连续功率 | W | 50.3 | 99.1 |
峰值功率 | W | 936.2 | 891.6 |
电气周期 | mm | 20 | 42 |
最大线圈温度 | ℃ | 130 | 130 |
连续电流 | Arms | 4.2 | 4.8 |
峰值电流 | Arms | 19.2 | 14.4 |
力常数 | N/Amrs | 38.2 | 61.0 |
反电动势常数 | Vpeak/(m/s) | 31.2 | 49.8 |
电感 | mH | 10.4 | 38.0 |
电阻@25℃ | Ohms | 2.85 | 4.30 |
磁吸引力 | N | 1619 | 1.45 |
轴号 | 有效行程(mm) | 运动质量(Kg) | 总质量(Kg) | 传感器位置(mm) |
横梁轴 | 510 | 4.6 | 29 | 514 |
下轴 | 510 | 34.8 | 103 | 514 |
注:龙门结构的质量约为778Kg。
规格参数 | 单位 | GTD 400*200 |
2直线度 | μm | ±2.5μm/100mm,NTE±10μm for FS |
2平面度 | ±2.5μm/1005mm, NTE±10μm for FS | |
重复精度(0.1μm分辨率) | ±1 | |
重复精度(0.5μm分辨率) | ±2.5 | |
重复精度(1μm分辨率) | ±5 | |
重复精度(模拟量编码器) | ±5 | |
X-Y正交性 | Arc-sec | 10 |
注: 2.数据测量环境:平台安装在5um平面度的花岗岩上,负载8Kg。
规格参数 | 型号 | GHD620 | |
驱动类型 | T 或 H | ||
轴 | 横梁轴 | 龙门轴 | |
电机 | ACM1-L50 | ACM1-L50 | |
性能参数 | 单位 | ||
连续力,线圈@100℃ | N | 182 | 182 |
峰值力 | N | 831.4 | 831.4 |
电机常数 | N/SqRt(W) | 25.6 | 25.6 |
连续功率 | W | 50.3 | 50.3 |
峰值功率 | W | 1050.6 | 1050.6 |
电气周期 | mm | 20 | 20 |
最大线圈温度 | ℃ | 130 | 130 |
连续电流 | Arms | 4.2 | 4.2 |
峰值电流 | Arms | 19.2 | 19.2 |
力常数 | N/Amrs | 43.3 | 43.3 |
反电动势常数 | Vpeak/(m/s) | 35.4 | 35.4 |
电感 | mH | 10.4 | 10.4 |
电阻@25℃ | Ohms | 2.85 | 2.85 |
磁吸引力 | N | 1619 | 1619 |
轴号 | 有效行程(mm) | 运动质量(Kg) | 总质量(Kg) | 传感器位置(mm) | 传感器位置(mm) |
横梁轴 | 620 | 4.6 | 29 | 624 | 630 |
下轴 | 620 | 38.3 | 122 | 624 | 630 |
注:龙门结构的质量约为778Kg。
规格参数 | 单位 | GTD 400*200 |
2直线度 | μm | ±3μm/25mm,NTE±10μm for FS |
2平面度 | ±3μm/25mm, NTE±10μm for FS | |
重复精度(0.5μm分辨率) | ±4 | |
重复精度(1μm分辨率) | ±5 | |
重复精度(模拟量编码器) | ±5 | |
X-Y正交性 | Arc-sec | 10 |
注: 2.数据测量环境:平台安装在5um平面度的花岗岩上,负载8Kg。
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